Multi-Scale Characterization of Crystalline Properties in Thick AlN Epitaxial Films Grown on Trench-Patterned Templates
Chapter 1. Introduction; Chapter 2. Cross-sectional X-ray microdiffraction study of thick AlN films grown on trench-patterned AlN/α-Al2O3 templates; Chapter. 3Simulation of residual strain in thick AlN films grown on trenchpatterned AlN/a-Al2O3 templates using the finite element method; ...
Tallennettuna:
| Päätekijä: | |
|---|---|
| Kieli: | eng |
| Julkaistu: |
Osaka University,
|
| Linkit: | https://dlib.udn.vn/module/chi-tiet-sach?RecordID=2767 |
| Tagit: |
Lisää tagi
Ei tageja, Lisää ensimmäinen tagi!
|
| Thư viện lưu trữ: | Trung tâm Công nghệ thông tin và Học liệu số, Đại học Đà Nẵng |
|---|
Lisää ensimmäinen kommentti!