Multi-Scale Characterization of Crystalline Properties in Thick AlN Epitaxial Films Grown on Trench-Patterned Templates
Chapter 1. Introduction; Chapter 2. Cross-sectional X-ray microdiffraction study of thick AlN films grown on trench-patterned AlN/α-Al2O3 templates; Chapter. 3Simulation of residual strain in thick AlN films grown on trenchpatterned AlN/a-Al2O3 templates using the finite element method; ...
Gardado en:
| Autor Principal: | |
|---|---|
| Idioma: | eng |
| Publicado: |
Osaka University,
|
| Acceso en liña: | https://dlib.udn.vn/module/chi-tiet-sach?RecordID=2767 |
| Các nhãn: |
Engadir etiqueta
Sen Etiquetas, Sexa o primeiro en etiquetar este rexistro!
|
| Thư viện lưu trữ: | Trung tâm Công nghệ thông tin và Học liệu số, Đại học Đà Nẵng |
|---|
Sexa o primeiro en deixar un comentario!