Multi-Scale Characterization of Crystalline Properties in Thick AlN Epitaxial Films Grown on Trench-Patterned Templates
Chapter 1. Introduction; Chapter 2. Cross-sectional X-ray microdiffraction study of thick AlN films grown on trench-patterned AlN/α-Al2O3 templates; Chapter. 3Simulation of residual strain in thick AlN films grown on trenchpatterned AlN/a-Al2O3 templates using the finite element method; ...
Đã lưu trong:
| 主要作者: | |
|---|---|
| 语言: | eng |
| 出版: |
Osaka University,
|
| 在线阅读: | https://dlib.udn.vn/module/chi-tiet-sach?RecordID=2767 |
| 标签: |
添加标签
没有标签, 成为第一个标记此记录!
|
| Thư viện lưu trữ: | Trung tâm Công nghệ thông tin và Học liệu số, Đại học Đà Nẵng |
|---|
成为第一个发表评论!