Multi-Scale Characterization of Crystalline Properties in Thick AlN Epitaxial Films Grown on Trench-Patterned Templates
Chapter 1. Introduction; Chapter 2. Cross-sectional X-ray microdiffraction study of thick AlN films grown on trench-patterned AlN/α-Al2O3 templates; Chapter. 3Simulation of residual strain in thick AlN films grown on trenchpatterned AlN/a-Al2O3 templates using the finite element method; ...
Đã lưu trong:
| Hovedforfatter: | |
|---|---|
| Sprog: | eng |
| Udgivet: |
Osaka University,
|
| Online adgang: | https://dlib.udn.vn/module/chi-tiet-sach?RecordID=2767 |
| Tags: |
Tilføj Tag
Ingen Tags, Vær først til at tagge denne postø!
|
| Thư viện lưu trữ: | Trung tâm Công nghệ thông tin và Học liệu số, Đại học Đà Nẵng |
|---|