Nghiên cứu chế tạo thiết bị phún xạ cathode DC magnetron và ứng dụng trong chế tạo màng mỏng
Tác giả: Phạm Hồng Tuấn, ThS -- Từ khóa: Thiết bị phún xạ DC-magnetron; Chế tạo màng mỏng; Gương quang học; Mạ bạc; Màng kim loại
Đã lưu trong:
| Tác giả chính: | |
|---|---|
| Định dạng: | Bài viết |
| Ngôn ngữ: | Vietnamese |
| Được phát hành: |
2011
|
| Những chủ đề: | |
| Truy cập trực tuyến: | https://scholar.dlu.edu.vn/thuvienso/handle/DLU123456789/12515 |
| Các nhãn: |
Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!
|
| Thư viện lưu trữ: | Thư viện Trường Đại học Đà Lạt |
|---|
| id |
oai:scholar.dlu.edu.vn:DLU123456789-12515 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
oai:scholar.dlu.edu.vn:DLU123456789-125152011-06-13T12:26:35Z Nghiên cứu chế tạo thiết bị phún xạ cathode DC magnetron và ứng dụng trong chế tạo màng mỏng Phạm, Hồng Tuấn Các vấn đề chung và tổng hợp của khoa học kỹ thuật, khoa học ứng dụng và của các ngành kinh tế quốc dân Tác giả: Phạm Hồng Tuấn, ThS -- Từ khóa: Thiết bị phún xạ DC-magnetron; Chế tạo màng mỏng; Gương quang học; Mạ bạc; Màng kim loại Đã thiết kế và chế tạo thành công thiết bị phún xạ DC-magnetron, áp dụng chúng để chế tạo gương quang học chất lượng cao trên cơ sở màng Al và Ag và chế tạo lớp phủ trên cơ sở màng Cu và Cu/Cr trên đế plastic, thay thế cho các chi tiết của Quân chủng phòn 2011-06-13T12:26:35Z 2011-06-13T12:26:35Z 2000 1999 2000 Working Paper 2001-561 https://scholar.dlu.edu.vn/thuvienso/handle/DLU123456789/12515 vi application/pdf Bộ |
| institution |
Thư viện Trường Đại học Đà Lạt |
| collection |
Thư viện số |
| language |
Vietnamese |
| topic |
Các vấn đề chung và tổng hợp của khoa học kỹ thuật, khoa học ứng dụng và của các ngành kinh tế quốc dân |
| spellingShingle |
Các vấn đề chung và tổng hợp của khoa học kỹ thuật, khoa học ứng dụng và của các ngành kinh tế quốc dân Phạm, Hồng Tuấn Nghiên cứu chế tạo thiết bị phún xạ cathode DC magnetron và ứng dụng trong chế tạo màng mỏng |
| description |
Tác giả: Phạm Hồng Tuấn, ThS -- Từ khóa: Thiết bị phún xạ DC-magnetron; Chế tạo màng mỏng; Gương quang học; Mạ bạc; Màng kim loại |
| format |
Working Paper |
| author |
Phạm, Hồng Tuấn |
| author_facet |
Phạm, Hồng Tuấn |
| author_sort |
Phạm, Hồng Tuấn |
| title |
Nghiên cứu chế tạo thiết bị phún xạ cathode DC magnetron và ứng dụng trong chế tạo màng mỏng |
| title_short |
Nghiên cứu chế tạo thiết bị phún xạ cathode DC magnetron và ứng dụng trong chế tạo màng mỏng |
| title_full |
Nghiên cứu chế tạo thiết bị phún xạ cathode DC magnetron và ứng dụng trong chế tạo màng mỏng |
| title_fullStr |
Nghiên cứu chế tạo thiết bị phún xạ cathode DC magnetron và ứng dụng trong chế tạo màng mỏng |
| title_full_unstemmed |
Nghiên cứu chế tạo thiết bị phún xạ cathode DC magnetron và ứng dụng trong chế tạo màng mỏng |
| title_sort |
nghiên cứu chế tạo thiết bị phún xạ cathode dc magnetron và ứng dụng trong chế tạo màng mỏng |
| publishDate |
2011 |
| url |
https://scholar.dlu.edu.vn/thuvienso/handle/DLU123456789/12515 |
| _version_ |
1819847582101274624 |