EFFECT OF TEMPERATURE AND TIME OF BAKING PHASE ON SU-8 PR FILM USED AS A HARD MASK FOR A DEEP LITHOGRAPHY

Đã lưu trong:
Sonraí Bibleagrafaíochta
Príomhúdar: Bùi, Tuấn Anh
Formáid: Bài viết
Teanga:Vietnamese
Foilsithe: 2023
Ábhair:
Rochtain Ar Líne:https://sti.vista.gov.vn/tw/Pages/tai-lieu-khcn.aspx?ItemID=290614
https://scholar.dlu.edu.vn/thuvienso/handle/DLU123456789/137411
Clibeanna: Cuir Clib Leis
Gan Chlibeanna, Bí ar an gcéad duine leis an taifead seo a chlibeáil!
Thư viện lưu trữ: Thư viện Trường Đại học Đà Lạt