EFFECT OF TEMPERATURE AND TIME OF BAKING PHASE ON SU-8 PR FILM USED AS A HARD MASK FOR A DEEP LITHOGRAPHY

Bewaard in:
Bibliografische gegevens
Hoofdauteur: Bùi, Tuấn Anh
Formaat: Artikel
Taal:Vietnamese
Gepubliceerd in: 2023
Onderwerpen:
Online toegang:https://sti.vista.gov.vn/tw/Pages/tai-lieu-khcn.aspx?ItemID=290614
https://scholar.dlu.edu.vn/thuvienso/handle/DLU123456789/137411
Tags: Voeg label toe
Geen labels, Wees de eerste die dit record labelt!
Thư viện lưu trữ: Thư viện Trường Đại học Đà Lạt