EFFECT OF TEMPERATURE AND TIME OF BAKING PHASE ON SU-8 PR FILM USED AS A HARD MASK FOR A DEEP LITHOGRAPHY
Сохранить в:
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | Статья |
| Язык: | Vietnamese |
| Опубликовано: |
2023
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | https://sti.vista.gov.vn/tw/Pages/tai-lieu-khcn.aspx?ItemID=290614 https://scholar.dlu.edu.vn/thuvienso/handle/DLU123456789/137411 |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
| Thư viện lưu trữ: | Thư viện Trường Đại học Đà Lạt |
|---|
Ваш комментарий будет первым!