Nghiên cứu sự phân bố của các nguyên tử phốt pho pha tạp trong màng Ge tăng trưởng epitaxy trên đế Si(100) bằng kỹ thuật chụp cắt lớp đầu dò nguyên tử
Đã lưu trong:
| Tác giả chính: | |
|---|---|
| Định dạng: | Bài viết |
| Ngôn ngữ: | Vietnamese |
| Được phát hành: |
2024
|
| Những chủ đề: | |
| Truy cập trực tuyến: | https://scholar.dlu.edu.vn/thuvienso/handle/DLU123456789/213561 |
| Các nhãn: |
Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!
|
| Thư viện lưu trữ: | Thư viện Trường Đại học Đà Lạt |
|---|
| id |
oai:scholar.dlu.edu.vn:DLU123456789-213561 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
oai:scholar.dlu.edu.vn:DLU123456789-2135612024-05-25T07:30:42Z Nghiên cứu sự phân bố của các nguyên tử phốt pho pha tạp trong màng Ge tăng trưởng epitaxy trên đế Si(100) bằng kỹ thuật chụp cắt lớp đầu dò nguyên tử Study of P dopant distribution in Ge film epitaxial grown on Si (001) substrate by atomic probe tomography technique Lương, Thị Kim Phượng Khoa học và Công nghệ - Đại học Thái Nguyên 2024-05-02T23:33:14Z 2024-05-02T23:33:14Z 2018 Article https://scholar.dlu.edu.vn/thuvienso/handle/DLU123456789/213561 vi Khoa học và Công nghệ - Đại học Thái Nguyên - 2018 - no.13 - tr.79-84 - ISSN.1859-2171 application/pdf |
| institution |
Thư viện Trường Đại học Đà Lạt |
| collection |
Thư viện số |
| language |
Vietnamese |
| topic |
Khoa học và Công nghệ - Đại học Thái Nguyên |
| spellingShingle |
Khoa học và Công nghệ - Đại học Thái Nguyên Lương, Thị Kim Phượng Nghiên cứu sự phân bố của các nguyên tử phốt pho pha tạp trong màng Ge tăng trưởng epitaxy trên đế Si(100) bằng kỹ thuật chụp cắt lớp đầu dò nguyên tử |
| format |
Article |
| author |
Lương, Thị Kim Phượng |
| author_facet |
Lương, Thị Kim Phượng |
| author_sort |
Lương, Thị Kim Phượng |
| title |
Nghiên cứu sự phân bố của các nguyên tử phốt pho pha tạp trong màng Ge tăng trưởng epitaxy trên đế Si(100) bằng kỹ thuật chụp cắt lớp đầu dò nguyên tử |
| title_short |
Nghiên cứu sự phân bố của các nguyên tử phốt pho pha tạp trong màng Ge tăng trưởng epitaxy trên đế Si(100) bằng kỹ thuật chụp cắt lớp đầu dò nguyên tử |
| title_full |
Nghiên cứu sự phân bố của các nguyên tử phốt pho pha tạp trong màng Ge tăng trưởng epitaxy trên đế Si(100) bằng kỹ thuật chụp cắt lớp đầu dò nguyên tử |
| title_fullStr |
Nghiên cứu sự phân bố của các nguyên tử phốt pho pha tạp trong màng Ge tăng trưởng epitaxy trên đế Si(100) bằng kỹ thuật chụp cắt lớp đầu dò nguyên tử |
| title_full_unstemmed |
Nghiên cứu sự phân bố của các nguyên tử phốt pho pha tạp trong màng Ge tăng trưởng epitaxy trên đế Si(100) bằng kỹ thuật chụp cắt lớp đầu dò nguyên tử |
| title_sort |
nghiên cứu sự phân bố của các nguyên tử phốt pho pha tạp trong màng ge tăng trưởng epitaxy trên đế si(100) bằng kỹ thuật chụp cắt lớp đầu dò nguyên tử |
| publishDate |
2024 |
| url |
https://scholar.dlu.edu.vn/thuvienso/handle/DLU123456789/213561 |
| _version_ |
1800121995271077888 |