Chế tạo vi mạch: Công nghệ in khắc nano sẽ soán ngôi công nghệ phơi sáng dùng tia cực tử ngoại?
Hiện nay, trong chế tạo vi mạch, công nghệ phơi sáng dùng tia cực tử ngoại (EUV) trong quy trình quang khắc (Lithography) đang chiếm địa vị “độc tôn”. Công ty ASML (Hà Lan) hiện là nhà cung cấp hàng đầu thế giới về thiết bị quang khắc cho ngành công nghiệp bán dẫn......
Đã lưu trong:
Tác giả chính: | Đặng, Lương Mô |
---|---|
Định dạng: | Bài viết |
Ngôn ngữ: | Vietnamese |
Được phát hành: |
2025
|
Những chủ đề: | |
Truy cập trực tuyến: | https://scholar.dlu.edu.vn/thuvienso/handle/DLU123456789/257133 |
Các nhãn: |
Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!
|
Thư viện lưu trữ: | Thư viện Trường Đại học Đà Lạt |
---|
Những quyển sách tương tự
-
Nghệ thuật chạm khắc ở ba ngôi mộ Quận Công thế kỷ XVII /
Bỡi: Phạm Văn Thắng. -
Nghệ thuật chạm khắc ở ba ngôi mộ quận công thế kỷ XVII
Bỡi: Phạm, Văn Thắng
Được phát hành: (2024) -
Công nghệ Nanô :
Bỡi: Vũ, Đình Cự
Được phát hành: (2004) -
Công nghệ nanô :
Bỡi: Ngụy, Hữu Tâm
Được phát hành: (2004) -
Vừa học vừa làm sẽ lên ngôi /
Bỡi: Nguyễn Cảnh Toàn, GS.VS.