Analysis of a novel 3C-SiC thin layer on silicon diaphragms for enhanced stress amplification in MEMS piezoresistive pressure sensors
Na minha lista:
| Những tác giả chính: | , , , , , , |
|---|---|
| Formato: | Artigo |
| Idioma: | Vietnamese |
| Publicado em: |
2025
|
| Assuntos: | |
| Acesso em linha: | https://scholar.dlu.edu.vn/thuvienso/handle/DLU123456789/286597 |
| Tags: |
Adicionar Tag
Sem tags, seja o primeiro a adicionar uma tag!
|
| Thư viện lưu trữ: | Thư viện Trường Đại học Đà Lạt |
|---|