Chế tạo màng epitaxy silic trên đế silic từ pha hơi

Tác giả: Nguyễn Quang Huân, KS -- Từ khóa: Màng epitaxy silic; Công nghệ epitaxy; Linh kiện bán dẫn; Công nghệ bán dẫn

Đã lưu trong:
Chi tiết về thư mục
Tác giả chính: Nguyễn, Quang Huân
Định dạng: Bài viết
Ngôn ngữ:Vietnamese
Được phát hành: 2011
Những chủ đề:
Truy cập trực tuyến:http://scholar.dlu.edu.vn/thuvienso/handle/DLU123456789/6260
Các nhãn: Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!
Thư viện lưu trữ: Thư viện Trường Đại học Đà Lạt
Miêu tả
Tóm tắt:Tác giả: Nguyễn Quang Huân, KS -- Từ khóa: Màng epitaxy silic; Công nghệ epitaxy; Linh kiện bán dẫn; Công nghệ bán dẫn