Chế tạo màng epitaxy silic trên đế silic từ pha hơi
Tác giả: Nguyễn Quang Huân, KS -- Từ khóa: Màng epitaxy silic; Công nghệ epitaxy; Linh kiện bán dẫn; Công nghệ bán dẫn
Đã lưu trong:
| Tác giả chính: | |
|---|---|
| Định dạng: | Bài viết |
| Ngôn ngữ: | Vietnamese |
| Được phát hành: |
2011
|
| Những chủ đề: | |
| Truy cập trực tuyến: | http://scholar.dlu.edu.vn/thuvienso/handle/DLU123456789/6260 |
| Các nhãn: |
Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!
|
| Thư viện lưu trữ: | Thư viện Trường Đại học Đà Lạt |
|---|
| id |
oai:scholar.dlu.edu.vn:DLU123456789-6260 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
oai:scholar.dlu.edu.vn:DLU123456789-62602011-06-13T07:09:12Z Chế tạo màng epitaxy silic trên đế silic từ pha hơi Nguyễn, Quang Huân Kỹ thuật điện tử. Kỹ thuật vô tuyến Tác giả: Nguyễn Quang Huân, KS -- Từ khóa: Màng epitaxy silic; Công nghệ epitaxy; Linh kiện bán dẫn; Công nghệ bán dẫn 2011-06-13T07:09:12Z 2011-06-13T07:09:12Z 1986 1981 1985 Working Paper 93-0778KQ http://scholar.dlu.edu.vn/thuvienso/handle/DLU123456789/6260 vi Nhà nước |
| institution |
Thư viện Trường Đại học Đà Lạt |
| collection |
Thư viện số |
| language |
Vietnamese |
| topic |
Kỹ thuật điện tử. Kỹ thuật vô tuyến |
| spellingShingle |
Kỹ thuật điện tử. Kỹ thuật vô tuyến Nguyễn, Quang Huân Chế tạo màng epitaxy silic trên đế silic từ pha hơi |
| description |
Tác giả: Nguyễn Quang Huân, KS -- Từ khóa: Màng epitaxy silic; Công nghệ epitaxy; Linh kiện bán dẫn; Công nghệ bán dẫn |
| format |
Working Paper |
| author |
Nguyễn, Quang Huân |
| author_facet |
Nguyễn, Quang Huân |
| author_sort |
Nguyễn, Quang Huân |
| title |
Chế tạo màng epitaxy silic trên đế silic từ pha hơi |
| title_short |
Chế tạo màng epitaxy silic trên đế silic từ pha hơi |
| title_full |
Chế tạo màng epitaxy silic trên đế silic từ pha hơi |
| title_fullStr |
Chế tạo màng epitaxy silic trên đế silic từ pha hơi |
| title_full_unstemmed |
Chế tạo màng epitaxy silic trên đế silic từ pha hơi |
| title_sort |
chế tạo màng epitaxy silic trên đế silic từ pha hơi |
| publishDate |
2011 |
| url |
http://scholar.dlu.edu.vn/thuvienso/handle/DLU123456789/6260 |
| _version_ |
1757651735167369216 |