Chế tạo và khảo sát các đặc trưng cấu trúc, điện, quang của màng a-Si:H pha tạp bằng phương pháp lắng đọng hơi hóa tăng cường Plasma (PECVD) : Luận văn Thạc sĩ Vật lý chuyên ngành Vật lý Kỹ thuật

Đề tài nghiên cứu về vật liệu bán dẫn silic, và Si:H, tìm hiểu về tính chất quang và tính chất điện của màng Si:H, tìm hiểu phương pháp lằng đọng hóa học CVD và PECVD. Nghiên cứu cách chế tạo và đo đạc xác định các tính chất quang điện, đ...

وصف كامل

محفوظ في:

التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف الرئيسي:	Phạm, Hoài Phương
التنسيق:	كتاب
اللغة:	Undetermined
منشور في:	Cần Thơ Trường Đại học Cần Thơ 2011
الموضوعات:	Semiconductors,Chất bán dẫn
الوسوم:	إضافة وسم لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!

Thư viện lưu trữ:	Trung tâm Học liệu Trường Đại học Cần Thơ

الوصف
الملخص:	Đề tài nghiên cứu về vật liệu bán dẫn silic, và Si:H, tìm hiểu về tính chất quang và tính chất điện của màng Si:H, tìm hiểu phương pháp lằng đọng hóa học CVD và PECVD. Nghiên cứu cách chế tạo và đo đạc xác định các tính chất quang điện, điện và cấu trúc của màng Si:H và Si:H pha tạp P. Đánh giá các điều kiện chế tạo và tìm ra điều kiện chế tạo mẫu tối ưu.

Chế tạo và khảo sát các đặc trưng cấu trúc, điện, quang của màng a-Si:H pha tạp bằng phương pháp lắng đọng hơi hóa tăng cường Plasma (PECVD) : Luận văn Thạc sĩ Vật lý chuyên ngành Vật lý Kỹ thuật

مواد مشابهة