Chế tạo và khảo sát các đặc trưng cấu trúc, điện, quang của màng a-Si:H pha tạp bằng phương pháp lắng đọng hơi hóa tăng cường Plasma (PECVD) : Luận văn Thạc sĩ Vật lý chuyên ngành Vật lý Kỹ thuật

Đề tài nghiên cứu về vật liệu bán dẫn silic, và Si:H, tìm hiểu về tính chất quang và tính chất điện của màng Si:H, tìm hiểu phương pháp lằng đọng hóa học CVD và PECVD. Nghiên cứu cách chế tạo và đo đạc xác định các tính chất quang điện, đ...

Täydet tiedot

Tallennettuna:

Bibliografiset tiedot
Päätekijä:	Phạm, Hoài Phương
Aineistotyyppi:	Kirja
Kieli:	Undetermined
Julkaistu:	Cần Thơ Trường Đại học Cần Thơ 2011
Aiheet:	Semiconductors,Chất bán dẫn
Tagit:	Lisää tagi Ei tageja, Lisää ensimmäinen tagi!

Thư viện lưu trữ:	Trung tâm Học liệu Trường Đại học Cần Thơ

Kuvaus
Yhteenveto:	Đề tài nghiên cứu về vật liệu bán dẫn silic, và Si:H, tìm hiểu về tính chất quang và tính chất điện của màng Si:H, tìm hiểu phương pháp lằng đọng hóa học CVD và PECVD. Nghiên cứu cách chế tạo và đo đạc xác định các tính chất quang điện, điện và cấu trúc của màng Si:H và Si:H pha tạp P. Đánh giá các điều kiện chế tạo và tìm ra điều kiện chế tạo mẫu tối ưu.

Chế tạo và khảo sát các đặc trưng cấu trúc, điện, quang của màng a-Si:H pha tạp bằng phương pháp lắng đọng hơi hóa tăng cường Plasma (PECVD) : Luận văn Thạc sĩ Vật lý chuyên ngành Vật lý Kỹ thuật

Samankaltaisia teoksia