Handbook of thin-film deposition processes and techniques : Principles, methods, equipment, and applications

Saved in:
Bibliographic Details
Format: Book
Language:Undetermined
Published: Norwich, N.Y. Noyes Publications 2002
Subjects:
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Institutions: Trung tâm Học liệu Trường Đại học Cần Thơ
LEADER 00672nam a2200205Ia 4500
001 CTU_237206
008 210402s9999 xx 000 0 und d
082 |a 621.38152 
082 |b H236 
245 0 |a Handbook of thin-film deposition processes and techniques : 
245 0 |b Principles, methods, equipment, and applications 
245 0 |c Edited by Krishna Seshan. 
260 |a Norwich, N.Y. 
260 |b Noyes Publications 
260 |c 2002 
526 |a Vật lý màng mỏng 
526 |b TN399 
650 |a Hơi hóa chất lắng đọng,Chemical vapor deposition 
910 |a Tuyến 
980 |a Trung tâm Học liệu Trường Đại học Cần Thơ