Handbook of physical vapor deposition (PVD) processing : Film formation, adhesion, surface preparation and contamination control

This book covers all aspects of physical vapor deposition (PVD) process technology from the characterizing and preparing the substrate material, through deposition processing and film characterization, to post-deposition processing. The emphasis of the book is on the aspects of the process flow that...

Mô tả đầy đủ

Đã lưu trong:
Chi tiết về thư mục
Tác giả chính: Mattox, D. M.
Định dạng: Sách
Ngôn ngữ:Undetermined
Được phát hành: Westwood, N.J. Noyes Publications 1998
Những chủ đề:
Các nhãn: Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!
Thư viện lưu trữ: Trung tâm Học liệu Trường Đại học Cần Thơ