A two-step micromirror for low voltage operation /

A two-step micromirror for low voltage operation /

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Detalhes bibliográficos
Outros Autores: Han, Seungoh., Hwang, Yong-Ha., Kim, Jae-Soon., Lee, Byung-Kab., Pak, James Jungho.
Formato: Artigo
Idioma:English
Assuntos:
Low driving voltage
Moving plate
Surface micromachining technology
Two-step micromirror
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Thư viện lưu trữ: Thư viện Trường Đại học Đà Lạt

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