The fabrication of megasonic agitated module (mam) for the improved characteristics of wet etching /

Guardat en:

Dades bibliogràfiques
Autor principal:	Park, Tae Gyu.
Altres autors:	Han, Dong Chul., Yang, Sang Sik.
Format:	Article
Idioma:	English
Matèries:	Anisotropic etching Boundary layer Etching characteristics Megasonic agitation
Etiquetes:	Afegir etiqueta Sense etiquetes, Sigues el primer a etiquetar aquest registre!

Thư viện lưu trữ:	Thư viện Trường Đại học Đà Lạt


LEADER	00961nam a2200301 4500
001	DLU090098800
005	##20091201
040	#	#	\|a DLU \|b eng
041	#	#	\|a eng
044	#	#	\|a us
100	#	#	\|a Park, Tae Gyu.
245	#	#	\|a The fabrication of megasonic agitated module (mam) for the improved characteristics of wet etching / \|c Tae Gyu Park, Sang Sik Yang, Dong Chul Han.
653	#	#	\|a Anisotropic etching
653	#	#	\|a Boundary layer
653	#	#	\|a Etching characteristics
653	#	#	\|a Megasonic agitation
700	#	#	\|a Han, Dong Chul.
700	#	#	\|a Yang, Sang Sik.
773	#	#	\|t Journal of Electrical Engineering & Technology \|g Vol. 3, no. 2 (June 2008), p. 271-275
920	#	#	\|a Phòng Tạp chí -- Trung tâm Thông tin - Thư viện Trường Đại học Đà Lạt
994	#	#	\|a DLU
900	#	#	\|a True
911	#	#	\|a Trương Bảo Trâm Anh
925	#	#	\|a G
926	#	#	\|a A
927	#	#	\|a BB
980	#	#	\|a Thư viện Trường Đại học Đà Lạt

Ítems similars