The fabrication of megasonic agitated module (mam) for the improved characteristics of wet etching /

The fabrication of megasonic agitated module (mam) for the improved characteristics of wet etching /

Saved in:
Bibliographic Details
Main Author: Park, Tae Gyu.
Other Authors: Han, Dong Chul., Yang, Sang Sik.
Format: Article
Language:English
Subjects:
Anisotropic etching
Boundary layer
Etching characteristics
Megasonic agitation
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Institutions: Thư viện Trường Đại học Đà Lạt
LEADER 00961nam a2200301 4500
001 DLU090098800
005 ##20091201
040 # # |a DLU  |b eng 
041 # # |a eng 
044 # # |a us 
100 # # |a Park, Tae Gyu. 
245 # # |a The fabrication of megasonic agitated module (mam) for the improved characteristics of wet etching /  |c Tae Gyu Park, Sang Sik Yang, Dong Chul Han. 
653 # # |a Anisotropic etching 
653 # # |a Boundary layer 
653 # # |a Etching characteristics 
653 # # |a Megasonic agitation 
700 # # |a Han, Dong Chul. 
700 # # |a Yang, Sang Sik. 
773 # # |t Journal of Electrical Engineering & Technology  |g Vol. 3, no. 2 (June 2008), p. 271-275 
920 # # |a Phòng Tạp chí -- Trung tâm Thông tin - Thư viện Trường Đại học Đà Lạt 
994 # # |a DLU 
900 # # |a True 
911 # # |a Trương Bảo Trâm Anh 
925 # # |a G 
926 # # |a A 
927 # # |a BB 
980 # # |a Thư viện Trường Đại học Đà Lạt 

Similar Items