Công nghệ vi hệ thống cơ điện tử /

Trình bày về vấn đề tỷ lệ kích thước, phương pháp khắc bức xạ, kỹ thuật khắc khô, kỹ thuật chế tạo màng mỏng, công nghệ vi cơ khối ướt, công nghệ vi cơ bề mặt, công nghệ liga, công nghệ đóng gói Từ Khoá Công nghệ điện tử...

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Détails bibliographiques
Auteur principal:	Vũ Ngọc Hùng
Format:	Livre
Langue:	Vietnamese
Publié:	H. : Bách Khoa Hà Nội , 2016
Sujets:	Cơ điện tử Vi hệ thống
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Thư viện lưu trữ:	Thư viện Trường CĐ Kỹ Thuật Cao Thắng

Description
Résumé:	Trình bày về vấn đề tỷ lệ kích thước, phương pháp khắc bức xạ, kỹ thuật khắc khô, kỹ thuật chế tạo màng mỏng, công nghệ vi cơ khối ướt, công nghệ vi cơ bề mặt, công nghệ liga, công nghệ đóng gói Từ Khoá Công nghệ điện tử
Description matérielle:	255 tr. ; 24 cm

Công nghệ vi hệ thống cơ điện tử /

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