Công nghệ vi hệ thống cơ điện tử

Trình bày về vấn đề tỷ lệ kích thước, phương pháp khắc bức xạ, kỹ thuật khắc khô, kỹ thuật chế tạo màng mỏng, công nghệ vi cơ khối ướt, công nghệ vi cơ bề mặt, công nghệ liga, công nghệ đóng gói...

Popoln opis

Shranjeno v:

Bibliografske podrobnosti
Glavni avtor:	Vũ, Ngọc Hùng
Format:	Knjiga
Jezik:	Undetermined
Izdano:	H. Bách khoa Hà Nội 2016
Teme:	Công nghệ điện tử; Cơ điện tử > Vi hệ thống
Online dostop:	http://lrc.tdmu.edu.vn/opac/search/detail.asp?aID=2&ID=27738
Oznake:	Označite Brez oznak, prvi označite!

Thư viện lưu trữ:	Trung tâm Học liệu Trường Đại học Thủ Dầu Một

Internet

http://lrc.tdmu.edu.vn/opac/search/detail.asp?aID=2&ID=27738

Công nghệ vi hệ thống cơ điện tử

Internet

Podobne knjige/članki