Công nghệ vi hệ thống cơ điện tử

Trình bày về vấn đề tỷ lệ kích thước, phương pháp khắc bức xạ, kỹ thuật khắc khô, kỹ thuật chế tạo màng mỏng, công nghệ vi cơ khối ướt, công nghệ vi cơ bề mặt, công nghệ liga, công nghệ đóng gói...

Disgrifiad llawn

Wedi'i Gadw mewn:

Manylion Llyfryddiaeth
Prif Awdur:	Vũ, Ngọc Hùng
Fformat:	Llyfr
Iaith:	Undetermined
Cyhoeddwyd:	H. Bách khoa Hà Nội 2016
Pynciau:	Công nghệ điện tử; Cơ điện tử > Vi hệ thống
Mynediad Ar-lein:	http://lrc.tdmu.edu.vn/opac/search/detail.asp?aID=2&ID=27738
Tagiau:	Ychwanegu Tag Dim Tagiau, Byddwch y cyntaf i dagio'r cofnod hwn!

Thư viện lưu trữ:	Trung tâm Học liệu Trường Đại học Thủ Dầu Một

Rhyngrwyd

http://lrc.tdmu.edu.vn/opac/search/detail.asp?aID=2&ID=27738

Công nghệ vi hệ thống cơ điện tử

Rhyngrwyd

Eitemau Tebyg