Công nghệ vi hệ thống cơ điện tử

Trình bày về vấn đề tỷ lệ kích thước, phương pháp khắc bức xạ, kỹ thuật khắc khô, kỹ thuật chế tạo màng mỏng, công nghệ vi cơ khối ướt, công nghệ vi cơ bề mặt, công nghệ liga, công nghệ đóng gói...

Deskribapen osoa

Gorde:

Xehetasun bibliografikoak
Egile nagusia:	Vũ, Ngọc Hùng
Formatua:	Liburua
Hizkuntza:	Undetermined
Argitaratua:	H. Bách khoa Hà Nội 2016
Gaiak:	Công nghệ điện tử; Cơ điện tử > Vi hệ thống
Sarrera elektronikoa:	http://lrc.tdmu.edu.vn/opac/search/detail.asp?aID=2&ID=27738
Etiketak:	Etiketa erantsi Etiketarik gabe, Izan zaitez lehena erregistro honi etiketa jartzen!

Thư viện lưu trữ:	Trung tâm Học liệu Trường Đại học Thủ Dầu Một

Internet

http://lrc.tdmu.edu.vn/opac/search/detail.asp?aID=2&ID=27738

Công nghệ vi hệ thống cơ điện tử

Internet

Antzeko izenburuak