Công nghệ vi hệ thống cơ điện tử

Trình bày về vấn đề tỷ lệ kích thước, phương pháp khắc bức xạ, kỹ thuật khắc khô, kỹ thuật chế tạo màng mỏng, công nghệ vi cơ khối ướt, công nghệ vi cơ bề mặt, công nghệ liga, công nghệ đóng gói...

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書目詳細資料
主要作者:	Vũ, Ngọc Hùng
格式:	圖書
語言:	Undetermined
出版:	H. Bách khoa Hà Nội 2016
主題:	Công nghệ điện tử; Cơ điện tử > Vi hệ thống
在線閱讀:	http://lrc.tdmu.edu.vn/opac/search/detail.asp?aID=2&ID=27738
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Thư viện lưu trữ:	Trung tâm Học liệu Trường Đại học Thủ Dầu Một

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