Công nghệ vi hệ thống cơ điện tử

Trình bày về vấn đề tỷ lệ kích thước, phương pháp khắc bức xạ, kỹ thuật khắc khô, kỹ thuật chế tạo màng mỏng, công nghệ vi cơ khối ướt, công nghệ vi cơ bề mặt, công nghệ liga, công nghệ đóng gói...

Полное описание

Сохранить в:
Библиографические подробности
Главный автор: Vũ, Ngọc Hùng
Формат:
Язык:Undetermined
Опубликовано: H. Bách khoa Hà Nội 2016
Предметы:
Online-ссылка:http://lrc.tdmu.edu.vn/opac/search/detail.asp?aID=2&ID=27738
Метки: Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
Thư viện lưu trữ: Trung tâm Học liệu Trường Đại học Thủ Dầu Một