Công nghệ vi hệ thống cơ điện tử

Trình bày về vấn đề tỷ lệ kích thước, phương pháp khắc bức xạ, kỹ thuật khắc khô, kỹ thuật chế tạo màng mỏng, công nghệ vi cơ khối ướt, công nghệ vi cơ bề mặt, công nghệ liga, công nghệ đóng gói...

Mô tả đầy đủ

Đã lưu trong:

Chi tiết về thư mục
Tác giả chính:	Vũ, Ngọc Hùng
Định dạng:	Sách
Ngôn ngữ:	Undetermined
Được phát hành:	H. Bách khoa Hà Nội 2016
Những chủ đề:	Công nghệ điện tử; Cơ điện tử > Vi hệ thống
Truy cập trực tuyến:	http://lrc.tdmu.edu.vn/opac/search/detail.asp?aID=2&ID=27738
Các nhãn:	Thêm thẻ Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!

Thư viện lưu trữ:	Trung tâm Học liệu Trường Đại học Thủ Dầu Một

Internet

http://lrc.tdmu.edu.vn/opac/search/detail.asp?aID=2&ID=27738

Công nghệ vi hệ thống cơ điện tử

Internet

Những quyển sách tương tự