Multi-wafer rotating MEMS machines : turbines, generators, and engines

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Multi-wafer rotating MEMS machines : turbines, generators, and engines

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Dettagli Bibliografici
Natura:	Sách
Lingua:	Undetermined
Pubblicazione:	Springer 2010
Soggetti:	Microelectromechanical systems; Cơ điện tử; Turbomachines; Máy Turbo;
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Thư viện lưu trữ:	Trung tâm Thư viện - Trường Đại học Công nghiệp TP. Hồ Chí Minh

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