Atomic Layer Deposition of Ultrathin Copper Metal Films from a Liquid Copper(I) Amidinate Precursor
Đã lưu trong:
| Những tác giả chính: | , , |
|---|---|
| Định dạng: | Bài viết |
| Ngôn ngữ: | Vietnamese |
| Được phát hành: |
2015
|
| Truy cập trực tuyến: | http://thuvien.ued.udn.vn/handle/TVDHSPDN_123456789/10771 |
| Các nhãn: |
Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!
|
| Thư viện lưu trữ: | Trung tâm Học liệu và E-Learning, Trường Đại học Sư phạm – Đại học Đà Nẵng |
|---|
| id |
oai:localhost:TVDHSPDN_123456789-10771 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
oai:localhost:TVDHSPDN_123456789-107712020-02-17T08:32:40Z Atomic Layer Deposition of Ultrathin Copper Metal Films from a Liquid Copper(I) Amidinate Precursor Zhengwen Li Antti Rahtu Roy G. Gordon 2015-08-13T08:13:06Z 2015-08-13T08:13:06Z 2006 Article Journal of The Electrochemical Society, 153 11 C787-C794 2006 http://thuvien.ued.udn.vn/handle/TVDHSPDN_123456789/10771 vi |
| institution |
Trung tâm Học liệu và E-Learning, Trường Đại học Sư phạm – Đại học Đà Nẵng |
| collection |
Thư viện số |
| language |
Vietnamese |
| format |
Article |
| author |
Zhengwen Li Antti Rahtu Roy G. Gordon |
| spellingShingle |
Zhengwen Li Antti Rahtu Roy G. Gordon Atomic Layer Deposition of Ultrathin Copper Metal Films from a Liquid Copper(I) Amidinate Precursor |
| author_facet |
Zhengwen Li Antti Rahtu Roy G. Gordon |
| author_sort |
Zhengwen Li |
| title |
Atomic Layer Deposition of Ultrathin Copper Metal Films from a Liquid Copper(I) Amidinate Precursor |
| title_short |
Atomic Layer Deposition of Ultrathin Copper Metal Films from a Liquid Copper(I) Amidinate Precursor |
| title_full |
Atomic Layer Deposition of Ultrathin Copper Metal Films from a Liquid Copper(I) Amidinate Precursor |
| title_fullStr |
Atomic Layer Deposition of Ultrathin Copper Metal Films from a Liquid Copper(I) Amidinate Precursor |
| title_full_unstemmed |
Atomic Layer Deposition of Ultrathin Copper Metal Films from a Liquid Copper(I) Amidinate Precursor |
| title_sort |
atomic layer deposition of ultrathin copper metal films from a liquid copper(i) amidinate precursor |
| publishDate |
2015 |
| url |
http://thuvien.ued.udn.vn/handle/TVDHSPDN_123456789/10771 |
| _version_ |
1766658898395136000 |