CU+ ION EXTRACTION FROM A MODIFIED BERNAS ION SOURCE IN A METAL-ION IMPLANTER
An ion implanter, which can serve as a metal-ion supply, has been constructed and performance tested. Copper ions are generated and extracted from a Bernas ion source with a heating crucible that provides feed gases to sustain the plasma. Sable arc plasmas can be sustained in the ion source for a cr...
Đã lưu trong:
| Tác giả chính: | |
|---|---|
| Định dạng: | Journal article |
| Ngôn ngữ: | Vietnamese |
| Được phát hành: |
2023
|
| Những chủ đề: | |
| Truy cập trực tuyến: | http://scholar.dlu.edu.vn/handle/123456789/1666 |
| Các nhãn: |
Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!
|
| Thư viện lưu trữ: | Thư viện Trường Đại học Đà Lạt |
|---|