CU+ ION EXTRACTION FROM A MODIFIED BERNAS ION SOURCE IN A METAL-ION IMPLANTER
An ion implanter, which can serve as a metal-ion supply, has been constructed and performance tested. Copper ions are generated and extracted from a Bernas ion source with a heating crucible that provides feed gases to sustain the plasma. Sable arc plasmas can be sustained in the ion source for a cr...
Đã lưu trong:
| Hovedforfatter: | |
|---|---|
| Format: | Journal article |
| Sprog: | Vietnamese |
| Udgivet: |
2023
|
| Fag: | |
| Online adgang: | http://scholar.dlu.edu.vn/handle/123456789/1666 |
| Tags: |
Tilføj Tag
Ingen Tags, Vær først til at tagge denne postø!
|
| Thư viện lưu trữ: | Thư viện Trường Đại học Đà Lạt |
|---|
Vær først til at give en kommentarø!