CU+ ION EXTRACTION FROM A MODIFIED BERNAS ION SOURCE IN A METAL-ION IMPLANTER
An ion implanter, which can serve as a metal-ion supply, has been constructed and performance tested. Copper ions are generated and extracted from a Bernas ion source with a heating crucible that provides feed gases to sustain the plasma. Sable arc plasmas can be sustained in the ion source for a cr...
محفوظ في:
| المؤلف الرئيسي: | |
|---|---|
| التنسيق: | Journal article |
| اللغة: | Vietnamese |
| منشور في: |
2023
|
| الموضوعات: | |
| الوصول للمادة أونلاين: | http://scholar.dlu.edu.vn/handle/123456789/1666 |
| الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|
| Thư viện lưu trữ: | Thư viện Trường Đại học Đà Lạt |
|---|