Phương pháp xử lý bề mặt đế silic ở nhiệt độ thấp ứng dụng trong kỹ thuật tăng trưởng Epitaxy chùm phân tử
Đã lưu trong:
Tác giả chính: | |
---|---|
Định dạng: | Bài viết |
Ngôn ngữ: | Vietnamese |
Được phát hành: |
2024
|
Những chủ đề: | |
Truy cập trực tuyến: | https://scholar.dlu.edu.vn/thuvienso/handle/DLU123456789/215207 |
Các nhãn: |
Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!
|
Thư viện lưu trữ: | Thư viện Trường Đại học Đà Lạt |
---|
id |
oai:scholar.dlu.edu.vn:DLU123456789-215207 |
---|---|
record_format |
dspace |
spelling |
oai:scholar.dlu.edu.vn:DLU123456789-2152072024-08-07T08:24:40Z Phương pháp xử lý bề mặt đế silic ở nhiệt độ thấp ứng dụng trong kỹ thuật tăng trưởng Epitaxy chùm phân tử Surface cleaning method of silicon substrate at low temperature application for molecular beam epitaxy technique Lương, Thị Kim Phượng Khoa học và Công nghệ - Đại học Thái Nguyên 2024-07-12T08:09:42Z 2024-07-12T08:09:42Z 2018 Article https://scholar.dlu.edu.vn/thuvienso/handle/DLU123456789/215207 vi Khoa học và Công nghệ - Đại học Thái Nguyên - 2018 - no.9 - tr.57-62 - ISSN.1859-2171 application/pdf |
institution |
Thư viện Trường Đại học Đà Lạt |
collection |
Thư viện số |
language |
Vietnamese |
topic |
Khoa học và Công nghệ - Đại học Thái Nguyên |
spellingShingle |
Khoa học và Công nghệ - Đại học Thái Nguyên Lương, Thị Kim Phượng Phương pháp xử lý bề mặt đế silic ở nhiệt độ thấp ứng dụng trong kỹ thuật tăng trưởng Epitaxy chùm phân tử |
format |
Article |
author |
Lương, Thị Kim Phượng |
author_facet |
Lương, Thị Kim Phượng |
author_sort |
Lương, Thị Kim Phượng |
title |
Phương pháp xử lý bề mặt đế silic ở nhiệt độ thấp ứng dụng trong kỹ thuật tăng trưởng Epitaxy chùm phân tử |
title_short |
Phương pháp xử lý bề mặt đế silic ở nhiệt độ thấp ứng dụng trong kỹ thuật tăng trưởng Epitaxy chùm phân tử |
title_full |
Phương pháp xử lý bề mặt đế silic ở nhiệt độ thấp ứng dụng trong kỹ thuật tăng trưởng Epitaxy chùm phân tử |
title_fullStr |
Phương pháp xử lý bề mặt đế silic ở nhiệt độ thấp ứng dụng trong kỹ thuật tăng trưởng Epitaxy chùm phân tử |
title_full_unstemmed |
Phương pháp xử lý bề mặt đế silic ở nhiệt độ thấp ứng dụng trong kỹ thuật tăng trưởng Epitaxy chùm phân tử |
title_sort |
phương pháp xử lý bề mặt đế silic ở nhiệt độ thấp ứng dụng trong kỹ thuật tăng trưởng epitaxy chùm phân tử |
publishDate |
2024 |
url |
https://scholar.dlu.edu.vn/thuvienso/handle/DLU123456789/215207 |
_version_ |
1819774154597990400 |