Simulations of capacitively coupled plasmas between unequal-sized powered and grounded electrodes using one- and two-dimensional fluid models /

Sparad:
Bibliografiska uppgifter
Huvudupphovsman: So, Soon-Youl.
Materialtyp: Artikel
Språk:English
Ämnen:
Taggar: Lägg till en tagg
Inga taggar, Lägg till första taggen!
Thư viện lưu trữ: Thư viện Trường Đại học Đà Lạt