Simulations of capacitively coupled plasmas between unequal-sized powered and grounded electrodes using one- and two-dimensional fluid models /

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: So, Soon-Youl.
Format: Artikel
Sprache:English
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Thư viện lưu trữ: Thư viện Trường Đại học Đà Lạt