Simulations of capacitively coupled plasmas between unequal-sized powered and grounded electrodes using one- and two-dimensional fluid models /

Simulations of capacitively coupled plasmas between unequal-sized powered and grounded electrodes using one- and two-dimensional fluid models /

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف الرئيسي: So, Soon-Youl.
التنسيق: مقال
اللغة:English
الموضوعات:
Asymmetric geometry
DC self-bias voltage
Fluid model
RF plasmas
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
Thư viện lưu trữ: Thư viện Trường Đại học Đà Lạt

مواد مشابهة

مواد مشابهة