Simulations of capacitively coupled plasmas between unequal-sized powered and grounded electrodes using one- and two-dimensional fluid models /
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| Autor principal: | |
|---|---|
| Formato: | Artigo |
| Idioma: | English |
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| Thư viện lưu trữ: | Thư viện Trường Đại học Đà Lạt |
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