Nghiên cứu chế tạo cảm biến gia tốc kiểu tụ trên cơ sở công nghệ MEMS /

Những quyển sách tương tự

• Xây dựng môđun phần mềm thiết kế cảm biến gia tốc vi cơ điện từ kiểu tụ /
  Bỡi: Trần Đức Tân.
• Thiết kế cảm biến gia tốc vi cơ điện từ chế tạo trên vật liệu silic /
• Nghiên cứu, chế tạo cảm biến đo độ dẫn điện /
  Bỡi: Ngô Quang Minh.
• Ứng dụng công nghệ MEMS trong chế tạo cảm biến vi cân tinh thể thạch anh (QCM) có độ nhạy cao /
• Nghiên cứu chế tạo cảm biến nhạy hơi etanol trên cơ sở vật liệu polyme dẫn điện /
  Bỡi: Chu Văn Tuấn.