Kỹ thuật chế tạo màng mỏng

Bao gồm bảy chương, trình bày về các kỹ thuật chế tạo màng từ pha dung dịch và pha hơi. Bao gồm các phương pháp như mạ điện, sol-gel, lắng đọng hơi hóa học (CVD), lắng đọng lớp nguyên tử (ALD), bốc bay nhiệt, bốc bay chùm điện tử, lắng đọng...

Mô tả đầy đủ

Đã lưu trong:
Chi tiết về thư mục
Tác giả chính: Vũ, Thị Hạnh Thu
Tác giả khác: Đại học Quốc gia Tp. Hồ Chí Minh
Định dạng: Sách
Ngôn ngữ:Undetermined
Được phát hành: Tp. Hồ Chí Minh Đại học Quốc gia Tp. Hồ Chí Minh 2014
Những chủ đề:
Truy cập trực tuyến:http://lrc.tdmu.edu.vn/opac/search/detail.asp?aID=2&ID=24211
Các nhãn: Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!
Thư viện lưu trữ: Trung tâm Học liệu Trường Đại học Thủ Dầu Một
Miêu tả
Tóm tắt:Bao gồm bảy chương, trình bày về các kỹ thuật chế tạo màng từ pha dung dịch và pha hơi. Bao gồm các phương pháp như mạ điện, sol-gel, lắng đọng hơi hóa học (CVD), lắng đọng lớp nguyên tử (ALD), bốc bay nhiệt, bốc bay chùm điện tử, lắng đọng màng bằng xung laser (PLD), phún xạ diode phẳng, phún xạ magnetron, phún xạ chùm ion, epitaxy chùm phân tử (MBE) và phun nhiệt....
Mô tả vật lý:227tr.