Kỹ thuật chế tạo màng mỏng

Bao gồm bảy chương, trình bày về các kỹ thuật chế tạo màng từ pha dung dịch và pha hơi. Bao gồm các phương pháp như mạ điện, sol-gel, lắng đọng hơi hóa học (CVD), lắng đọng lớp nguyên tử (ALD), bốc bay nhiệt, bốc bay chùm điện tử, lắng đọng...

Mô tả đầy đủ

Đã lưu trong:

Chi tiết về thư mục
Tác giả chính:	Vũ, Thị Hạnh Thu
Tác giả khác:	Đại học Quốc gia Tp. Hồ Chí Minh
Định dạng:	Sách
Ngôn ngữ:	Undetermined
Được phát hành:	Tp. Hồ Chí Minh Đại học Quốc gia Tp. Hồ Chí Minh 2014
Những chủ đề:	Vật liệu màng mỏng > Chế tạo; Kỹ thuật chế tạo vật liệu > Vật liệu màng mỏng; Vật lý > Trạng thái vật chất > Màng mỏng
Truy cập trực tuyến:	http://lrc.tdmu.edu.vn/opac/search/detail.asp?aID=2&ID=24211
Các nhãn:	Thêm thẻ Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!

Thư viện lưu trữ:	Trung tâm Học liệu Trường Đại học Thủ Dầu Một


LEADER	01414nam a2200217Ia 4500
001	TDMU_24211
008	210410s9999 xx 000 0 und d
082			\|a 670.28
090			\|b V500
100			\|a Vũ, Thị Hạnh Thu
245		0	\|a Kỹ thuật chế tạo màng mỏng
245		0	\|c Vũ Thị Hạnh Thu
260			\|a Tp. Hồ Chí Minh
260			\|b Đại học Quốc gia Tp. Hồ Chí Minh
260			\|c 2014
300			\|a 227tr.
520			\|a Bao gồm bảy chương, trình bày về các kỹ thuật chế tạo màng từ pha dung dịch và pha hơi. Bao gồm các phương pháp như mạ điện, sol-gel, lắng đọng hơi hóa học (CVD), lắng đọng lớp nguyên tử (ALD), bốc bay nhiệt, bốc bay chùm điện tử, lắng đọng màng bằng xung laser (PLD), phún xạ diode phẳng, phún xạ magnetron, phún xạ chùm ion, epitaxy chùm phân tử (MBE) và phun nhiệt....
650			\|a Vật liệu màng mỏng \|x Chế tạo; Kỹ thuật chế tạo vật liệu \|x Vật liệu màng mỏng; Vật lý \|x Trạng thái vật chất \|x Màng mỏng
700			\|a Đại học Quốc gia Tp. Hồ Chí Minh
856			\|u http://lrc.tdmu.edu.vn/opac/search/detail.asp?aID=2&ID=24211
980			\|a Trung tâm Học liệu Trường Đại học Thủ Dầu Một

Kỹ thuật chế tạo màng mỏng

Những quyển sách tương tự