Kỹ thuật chế tạo màng mỏng

Bao gồm bảy chương, trình bày về các kỹ thuật chế tạo màng từ pha dung dịch và pha hơi. Bao gồm các phương pháp như mạ điện, sol-gel, lắng đọng hơi hóa học (CVD), lắng đọng lớp nguyên tử (ALD), bốc bay nhiệt, bốc bay chùm điện tử, lắng đọng...

Полное описание

Сохранить в:
Библиографические подробности
Главный автор: Vũ, Thị Hạnh Thu
Другие авторы: Đại học Quốc gia Tp. Hồ Chí Minh
Формат:
Язык:Undetermined
Опубликовано: Tp. Hồ Chí Minh Đại học Quốc gia Tp. Hồ Chí Minh 2014
Предметы:
Online-ссылка:http://lrc.tdmu.edu.vn/opac/search/detail.asp?aID=2&ID=24211
Метки: Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
Thư viện lưu trữ: Trung tâm Học liệu Trường Đại học Thủ Dầu Một