Handbook of Plasma Processing Technology - Fundamentals, Etching, Deposition, and Surface Interactions

This book provides a perspective look at a range of thin film plasma processing technologies.

Đã lưu trong:
Chi tiết về thư mục
Những tác giả chính: Rossnagel, Stephen M., Cuomo, Jenome J., Westwood, William D.
Định dạng: Sách
Ngôn ngữ:English
Được phát hành: Noyes Publications 2011
Những chủ đề:
Truy cập trực tuyến:http://scholar.dlu.edu.vn/thuvienso/handle/DLU123456789/25172
Các nhãn: Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!
Thư viện lưu trữ: Thư viện Trường Đại học Đà Lạt
Miêu tả
Tóm tắt:This book provides a perspective look at a range of thin film plasma processing technologies.