Remote hydrogen-nitrogen plasma chemical vapor deposition from a tetramethyldisilazane source. Part 1. Mechanism of the process, structure and surface morphology of deposited amorphous hydrogenated silicon carbonitride films /

Đã lưu trong:
書目詳細資料
其他作者: Aoki, T., Baszczyk, I., Hatanaka, Y., Klemberg-Sapieha, J. E., Tracz, A., Walkiewicz-Pietrzykowska, A., Wrobel, A. M.
格式: Bài viết
語言:English
主題:
標簽: 添加標簽
沒有標簽, 成為第一個標記此記錄!
Thư viện lưu trữ: Thư viện Trường Đại học Đà Lạt