Remote hydrogen-nitrogen plasma chemical vapor deposition from a tetramethyldisilazane source. Part 1. Mechanism of the process, structure and surface morphology of deposited amorphous hydrogenated silicon carbonitride films /
Đã lưu trong:
| Údair Eile: | , , , , , , |
|---|---|
| Formáid: | Bài viết |
| Teanga: | English |
| Ábhair: | |
| Clibeanna: |
Cuir Clib Leis
Gan Chlibeanna, Bí ar an gcéad duine leis an taifead seo a chlibeáil!
|
| Thư viện lưu trữ: | Thư viện Trường Đại học Đà Lạt |
|---|