Remote hydrogen-nitrogen plasma chemical vapor deposition from a tetramethyldisilazane source. Part 1. Mechanism of the process, structure and surface morphology of deposited amorphous hydrogenated silicon carbonitride films /

Đã lưu trong:
书目详细资料
其他作者: Aoki, T., Baszczyk, I., Hatanaka, Y., Klemberg-Sapieha, J. E., Tracz, A., Walkiewicz-Pietrzykowska, A., Wrobel, A. M.
格式: Bài viết
语言:English
主题:
标签: 添加标签
没有标签, 成为第一个标记此记录!
Thư viện lưu trữ: Thư viện Trường Đại học Đà Lạt