Handbook of Plasma Processing Technology - Fundamentals, Etching, Deposition, and Surface Interactions
This book provides a perspective look at a range of thin film plasma processing technologies.
Gardado en:
| Những tác giả chính: | , , |
|---|---|
| Formato: | Libro |
| Idioma: | English |
| Publicado: |
Noyes Publications
2011
|
| Những chủ đề: | |
| Acceso en liña: | https://scholar.dlu.edu.vn/thuvienso/handle/DLU123456789/25172 |
| Các nhãn: |
Engadir etiqueta
Sen Etiquetas, Sexa o primeiro en etiquetar este rexistro!
|
| Thư viện lưu trữ: | Thư viện Trường Đại học Đà Lạt |
|---|
| Tóm tắt: | This book provides a perspective look at a range of thin film plasma processing technologies. |
|---|