Handbook of Plasma Processing Technology - Fundamentals, Etching, Deposition, and Surface Interactions
This book provides a perspective look at a range of thin film plasma processing technologies.
में बचाया:
| मुख्य लेखकों: | , , |
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| स्वरूप: | पुस्तक |
| भाषा: | English |
| प्रकाशित: |
Noyes Publications
2011
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| विषय: | |
| ऑनलाइन पहुंच: | https://scholar.dlu.edu.vn/thuvienso/handle/DLU123456789/25172 |
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| Thư viện lưu trữ: | Thư viện Trường Đại học Đà Lạt |
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| सारांश: | This book provides a perspective look at a range of thin film plasma processing technologies. |
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