Handbook of Plasma Processing Technology - Fundamentals, Etching, Deposition, and Surface Interactions

This book provides a perspective look at a range of thin film plasma processing technologies.

Đã lưu trong:
Bibliografiske detaljer
Những tác giả chính: Rossnagel, Stephen M., Cuomo, Jenome J., Westwood, William D.
Format: Bog
Sprog:English
Udgivet: Noyes Publications 2011
Fag:
Online adgang:https://scholar.dlu.edu.vn/thuvienso/handle/DLU123456789/25172
Tags: Tilføj Tag
Ingen Tags, Vær først til at tagge denne postø!
Thư viện lưu trữ: Thư viện Trường Đại học Đà Lạt