Handbook of Plasma Processing Technology - Fundamentals, Etching, Deposition, and Surface Interactions

This book provides a perspective look at a range of thin film plasma processing technologies.

Tallennettuna:
Bibliografiset tiedot
Päätekijät: Rossnagel, Stephen M., Cuomo, Jenome J., Westwood, William D.
Aineistotyyppi: Kirja
Kieli:English
Julkaistu: Noyes Publications 2011
Aiheet:
Linkit:https://scholar.dlu.edu.vn/thuvienso/handle/DLU123456789/25172
Tagit: Lisää tagi
Ei tageja, Lisää ensimmäinen tagi!
Thư viện lưu trữ: Thư viện Trường Đại học Đà Lạt