Handbook of Plasma Processing Technology - Fundamentals, Etching, Deposition, and Surface Interactions

This book provides a perspective look at a range of thin film plasma processing technologies.

Shranjeno v:
Bibliografske podrobnosti
Những tác giả chính: Rossnagel, Stephen M., Cuomo, Jenome J., Westwood, William D.
Format: Knjiga
Jezik:English
Izdano: Noyes Publications 2011
Teme:
Online dostop:https://scholar.dlu.edu.vn/thuvienso/handle/DLU123456789/25172
Oznake: Označite
Brez oznak, prvi označite!
Thư viện lưu trữ: Thư viện Trường Đại học Đà Lạt