Handbook of Plasma Processing Technology - Fundamentals, Etching, Deposition, and Surface Interactions

This book provides a perspective look at a range of thin film plasma processing technologies.

Guardado en:
Detalles Bibliográficos
Autores principales: Rossnagel, Stephen M., Cuomo, Jenome J., Westwood, William D.
Formato: Libro
Lenguaje:English
Publicado: Noyes Publications 2011
Materias:
Acceso en línea:https://scholar.dlu.edu.vn/thuvienso/handle/DLU123456789/25172
Etiquetas: Agregar Etiqueta
Sin Etiquetas, Sea el primero en etiquetar este registro!
Thư viện lưu trữ: Thư viện Trường Đại học Đà Lạt