Handbook of Plasma Processing Technology - Fundamentals, Etching, Deposition, and Surface Interactions
This book provides a perspective look at a range of thin film plasma processing technologies.
保存先:
| 主要な著者: | , , |
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| フォーマット: | 図書 |
| 言語: | English |
| 出版事項: |
Noyes Publications
2011
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| 主題: | |
| オンライン･アクセス: | https://scholar.dlu.edu.vn/thuvienso/handle/DLU123456789/25172 |
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| Thư viện lưu trữ: | Thư viện Trường Đại học Đà Lạt |
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