Handbook of Plasma Processing Technology - Fundamentals, Etching, Deposition, and Surface Interactions

This book provides a perspective look at a range of thin film plasma processing technologies.

Đã lưu trong:
书目详细资料
Những tác giả chính: Rossnagel, Stephen M., Cuomo, Jenome J., Westwood, William D.
格式: 图书
语言:English
出版: Noyes Publications 2011
主题:
在线阅读:https://scholar.dlu.edu.vn/thuvienso/handle/DLU123456789/25172
标签: 添加标签
没有标签, 成为第一个标记此记录!
Thư viện lưu trữ: Thư viện Trường Đại học Đà Lạt