Handbook of semiconductor manufacturing technology

New to the second edition of this reference are sections on silicon-on-insulator (SOI) materials and devices, supercritical CO2 in semiconductor cleaning, low-'5f dielectrics, atomic-layer deposition, Damascene copper electroplating, and effects of terrestrial radiation on integrated circuits....

Täydet tiedot

Tallennettuna:
Bibliografiset tiedot
Päätekijä: Doering, Robert
Aineistotyyppi: Kirja
Kieli:Undetermined
Julkaistu: Boca Raton CRC Press 2008
Aiheet:
Tagit: Lisää tagi
Ei tageja, Lisää ensimmäinen tagi!
Thư viện lưu trữ: Trung tâm Học liệu Trường Đại học Cần Thơ