Fundamentals of semiconductor fabrication

This concise introduction to semiconductor fabrication technology covers everything professionals need to know, from crystal growth to integrated devices and circuits. Throughout, the authors address both theory and the practical aspects of each major fabrication step, including crystal growth, sili...

Mô tả đầy đủ

Đã lưu trong:
Chi tiết về thư mục
Tác giả chính: May, Gary S.
Định dạng: Sách
Ngôn ngữ:Undetermined
Được phát hành: New York Wiley 2004
Những chủ đề:
Các nhãn: Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!
Thư viện lưu trữ: Trung tâm Học liệu Trường Đại học Cần Thơ
LEADER 01016nam a2200217Ia 4500
001 CTU_152275
008 210402s9999 xx 000 0 und d
020 |c 116.25 
082 |a 621.38152 
082 |b M466 
100 |a May, Gary S. 
245 0 |a Fundamentals of semiconductor fabrication 
245 0 |c Gary S. May, Simon M. Sze 
260 |a New York 
260 |b Wiley 
260 |c 2004 
520 |a This concise introduction to semiconductor fabrication technology covers everything professionals need to know, from crystal growth to integrated devices and circuits. Throughout, the authors address both theory and the practical aspects of each major fabrication step, including crystal growth, silicon oxidation, photolithography, etching, diffusion, ion implantation, and thin film depositio 
650 |a Semiconductors,Bán dẫn 
650 |x Design and construction,Thiết kế xây dựng 
904 |i Phương Kiều 
980 |a Trung tâm Học liệu Trường Đại học Cần Thơ