The science and engineering of microelectronic fabrication
Advanced processing topics such as rapid thermal processing, next generation lithography, molecular beam epitaxy, and metal organic chemical vapor deposition are also presented. The physics and chemistry of each process is introduced along with descriptions of the equipment used for the manufacture...
Đã lưu trong:
| Tác giả chính: | |
|---|---|
| Tác giả khác: | |
| Ngôn ngữ: | Undetermined English |
| Được phát hành: |
New York
Oxford University Press
2001
|
| Những chủ đề: | |
| Các nhãn: |
Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!
|
| Thư viện lưu trữ: | Trung tâm Học liệu Trường Đại học Trà Vinh |
|---|