Porous pSiCOH ultralow-k dielectrics for chip interconnects prepared by PECVD /

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ग्रंथसूची विवरण
मुख्य लेखक: Grill, Alfred.
स्वरूप: लेख
भाषा:English
विषय:
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Thư viện lưu trữ: Thư viện Trường Đại học Đà Lạt

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