Porous pSiCOH ultralow-k dielectrics for chip interconnects prepared by PECVD /
Kaydedildi:
| Yazar: | |
|---|---|
| Materyal Türü: | Makale |
| Dil: | English |
| Konular: | |
| Etiketler: |
Etiketle
Etiket eklenmemiş, İlk siz ekleyin!
|
| Thư viện lưu trữ: | Thư viện Trường Đại học Đà Lạt |
|---|