Kỹ thuật chế tạo màng mỏng
Bao gồm bảy chương, trình bày về các kỹ thuật chế tạo màng từ pha dung dịch và pha hơi. Bao gồm các phương pháp như mạ điện, sol-gel, lắng đọng hơi hóa học (CVD), lắng đọng lớp nguyên tử (ALD), bốc bay nhiệt, bốc bay chùm điện tử, lắng đọng...
Wedi'i Gadw mewn:
Prif Awdur: | |
---|---|
Awduron Eraill: | |
Fformat: | Llyfr |
Iaith: | Undetermined |
Cyhoeddwyd: |
Tp. Hồ Chí Minh
Đại học Quốc gia Tp. Hồ Chí Minh
2014
|
Pynciau: | |
Mynediad Ar-lein: | http://lrc.tdmu.edu.vn/opac/search/detail.asp?aID=2&ID=24211 |
Tagiau: |
Ychwanegu Tag
Dim Tagiau, Byddwch y cyntaf i dagio'r cofnod hwn!
|
Thư viện lưu trữ: | Trung tâm Học liệu Trường Đại học Thủ Dầu Một |
---|
Byddwch y cyntaf i adael sylw!