Handbook of Plasma Processing Technology - Fundamentals, Etching, Deposition, and Surface Interactions

Handbook of Plasma Processing Technology - Fundamentals, Etching, Deposition, and Surface Interactions

This book provides a perspective look at a range of thin film plasma processing technologies.

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلفون الرئيسيون: Rossnagel, Stephen M., Cuomo, Jenome J., Westwood, William D.
التنسيق: كتاب
اللغة:English
منشور في: Noyes Publications 2011
الموضوعات:
Hóa học
الوصول للمادة أونلاين:https://scholar.dlu.edu.vn/thuvienso/handle/DLU123456789/25172
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
Thư viện lưu trữ: Thư viện Trường Đại học Đà Lạt
الوصف
الملخص:This book provides a perspective look at a range of thin film plasma processing technologies.

مواد مشابهة